[산업통상부]반도체 공정 핵심 EUV 장비, 국내 도입 최대 25일 빨라진다

반도체 공정 핵심 EUV 장비 , 국내 도입 최대 25 일 빨라진다 . - EUV 장비 검사 소요기간이 현행 34 일 → 개선 9 일 단축 전망 - - 「 고압가스 안전관리법 시행령 」 일부개정안 국무회의 의결 -   정부가 반도체 핵심 공정에 사용되는 EUV( 극자외선 ) 장비의 국내 도입 절차를 대폭 간소화한다 . 이에 따라 삼성전자 ·SK 하이닉스 등 국내 반도체 기업들은 첨단 생산라인 구축에 필수적인 EUV 장비 도입 시 검사 등 소요 기간이 기존 34 일에서 9 일로 최대 25 일 단축될 전망이다 .   산업통상부 ( 장관 김정관 , 이하 산업부 ) 는 6.2( 화 ) 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 반도체 제조장비에 대해 고압가스 일반제조시설이 아닌 ' 특정설비 ' 기준을 적용하도록 하는 것을 주요내용으로 하는 「 고압가스 안전관리법 시행령 」 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다 .   이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25 일 단축되고 , 해외 공인검사기관 내압 · 기밀 검사비용도 장비당 약 5 억원 절감될 것으로 예상된다 . 이를 통해 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입 하고 신속히 가동함으로써 우리 반도체 산업의 초격차 유지에 기여할 것으로 기대된다 .   < EUV 장비 검사절차 개선 전후 비교 > 구 분   검사 절차   소요기간                           현행   제조시설 ▶ 기술검토 (15 일 ) ▶ 허가 (5 일 ) ▶ 중간검사 * (7 일 ) ▶ 완성검사 (7 일 ) ▶ 34 일                 개선   특정설비 ( 제품 ) ▶ 기술검토 (2 일 ) ▶ 허가 (5 일 ) ▶ 생 략 ▶ 완성검사 (2 일 ) ▶ 9 일   * 중간검사 : 해외 공인검사기관의 내압기밀 검사로 장비당 약 5 억원 소요 그간 반도체 공정에 필수적인 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관 및 장치가 포함되어 현행 법령상 ' 고압가스 제조설비 ' 로 분류되어 왔다 . 이에 따라 EUV 장비 설치시마다 기술검토와 검사를 받아야 했고 , 이 과정에서 장 비 도입이 지연되고 기업 부담이 발생한다는 현장의 의견이 제기되어 왔다 .   산업부는 제도 개선을 위해 반도체 업계와 여러 차례 협의를 거쳐 의견을 수렴하고 , 글로벌 안전기준과 국내 안전관리 체계 간 정합성을 면밀히 검토 하여 EUV 장비를 기존 ' 고압가스 제조시설 ' 에서 ' 특정설비 ' 로 전환하여 안전성을 관리 * 하는 이번 개정안을 마련한 것이다 .   * EUV 장비를 ' 특정설비 ' 로 지정해 3 년 주기 공장심사 , 종합공정검사를 실시하여 제조사의 제조공정 및 품질 관리능력을 확인하여 기존과 동등한 안전성 확보   아울러 시행령과 함께 시행규칙 개정도 함께 추진하여 , EUV 장비 규제 합리화 외에도 ➊ 물과 세탁세제 대신 이산화탄소를 사용해 세탁하는 친환경 ' 액화 이산화탄소 세정설비 * ' 가 국내 최초 상용화 될 수 있도록 맞춤형 검사 기준을 신설하는 등 규제를 합리화하고 , ➋ ' 위험성이 낮은 고압가스시설 ' 의 안전관리자 선임기준을 현실에 맞게 정비 ** 하는 내용 등도 포함하였다 .   * 물 · 세제 등을 사용하지 않고 CO 2 를 사용하여 의류에 유해 잔여물이 남지 않는 친환경 세탁기 ( 폐수 처리 및 배기 정화시설 불요 ), 규제샌드박스 ('22.3~'26.3) 통해 안전성 검증 ** 상업용 액화 이산화탄소 세정설비 , 고압가스 저장시설 등 안전관리자 자격요건 완화   본 개정안은 차주 중 공포 후 즉시 시행될 예정이며 , 김정관 산업부 장관은 " 금번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례 " 라며 " 앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다 " 고 밝혔다 .   [자료제공 : (www.korea.kr) ]